知识片段:钛管靶

凯泽金属的钛管靶主要用于什么工艺?有什么结构优势?

知识类型:靶材系列

我们的钛管靶是专为磁控溅射(尤其是旋转溅射) 设计的高纯度空心圆柱靶材。其核心结构优势在于可实现360°旋转溅射,不仅让膜厚均匀性控制在±3%以内,更将材料利用率大幅提升至70%以上,远优于传统平面靶,特别适合大面积连续镀膜。

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