磁控溅射镀膜以其高速、低温、低损伤等特点，可被用于溅射半导体、金属、绝缘体等几乎任何材料。因其具有制备简单、附着力强、镀膜面积大及易于控制等优点，广泛应用于电子行业...

钛及钛合金具有耐蚀性好、生物相容性好、比强度、疲劳强度高等优异性能，享有“战略金属”、“太空金属”、“海洋金属”及“生物金属”等美誉。近年钛及钛合金技术被广泛应用...

航空用钛及钛合金锻件规范 GJB 2744A-2007，规定了TA1、TA2、TA3、TA7、TA15、TA19、TC1、TC2、TC4、TC6、TC11、TC18、TB6钛及钛合金自由锻件和模锻件（以下简称锻件）的要求，质量...

1、前言钛及钛合金是一种优 良的结构材料 ，具有密度小、比强度高、塑韧性好 、耐热蚀性好、可加工性较好等特点 ，因此广泛应用 在航 空航天 、化工 、造船、冶金、仪器仪表等...

卷钢涂料广泛应用于建筑、家电、汽车、装饰等领域[1-3]，与一般工业涂料不同，卷钢涂料采用先涂装后加工的生产工艺，因此涂层不但要有较高的硬度，以防止加工和使用时擦伤和划伤，而...

随着激光、离子束等技术发展，研究人员发明了多种工艺制备氧化物薄膜材料，而磁控溅射镀膜技术由于其在大面积镀膜以及性能参数易调控上的优势，成为了工业及实验室镀膜的主流方式...

超高纯金属钨（即纯度达到99.9999% 以上）具有电阻率低、导热系数高、高温稳定性好、抗电子迁移能力强等特性，广泛应用于超大规模集成电路[1，2]。钨靶材通常以磁控溅射等方式沉积...

《靶材技术成熟度等级划分及定义》国家标准GB/T 39157-2020，规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。 本标准适用于靶材技术成熟度评价。该标准的详细内容规...