钛管靶采用什么工艺制造？如何保证质量？

我们采用“电子束熔炼（EBM）或真空电弧熔炼（VAR）+热挤压旋压+真空电子束焊接（EBW）”的工艺路线。管坯经过精密塑性成型，管端由电子束焊接密封，杜绝气体泄漏。成品内外壁会进行精密抛光（Ra≤0.6 μm），并经过超声波清洗和真空封装，确保交付洁净度。