钛管靶在储存和使用中有什么关键注意事项？

储存运输：请务必保持真空充氩包装，存放于湿度<30% RH的环境中。运输中需用专用支架固定，防止管体变形。

安装使用：安装前用无水乙醇清洁内壁，确保水路无杂质。初始溅射时，建议功率阶梯式递增，以避免热应力导致开裂。

维护报废：需定期检测壁厚，剩余厚度通常建议不小于1mm时更换。替换下的钛管靶可回收重熔。