知识片段:铬合金靶材
知识类型:靶材
我们主要采用粉末冶金+热等静压(HIP) 一体化成型工艺。流程包括:高纯粉末精确配比与长时间均匀混合→真空脱气封装→高温高压热等静压致密化。此工艺能有效避免传统熔炼法易产生的成分偏析,获得相对密度≥99%、晶粒细小均匀的高品质靶材,确保溅射过程稳定。
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