一、产品名称:铬靶材、铬靶块
凯泽金属铬靶材规格:
圆靶(直径φ1"-φ14",厚度0.5-15mm)
板靶(长<500mm,宽<500mm,高<25mm)
管靶(外直径φ3.0mm-φ300mm,内直径φ2.0mm-280mm)
材料纯度:>99.995%
金属杂质含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm
平整度(TIR):<20μm
局部平整度(STIR):<10μm
翘曲度(Warp):<50μm
![铬靶 铬靶](/d/file/dongtai/20230518/cdd02ac0be8b79be2b0477251c9f7c4c.jpg)
二、产品名称:钛靶材,钛圆柱靶、钛靶管
牌号:TA1,GR1
执行标准:GB/T2695-1996,ASTM B348-97
用途:钛靶材用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层,玻璃镀膜工业等领域。
![钛圆柱靶 钛圆柱靶](/d/file/taiba/20221010/573837ec700f7576c17f35eea7081c50.jpg)
三、产品名称:镍靶材
牌号:N6, N4
用途:镍靶材用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层,玻璃镀膜工业等。
![镍靶材 镍靶材](/d/file/dongtai/20230302/053ef384fd753343a44ebc636fda5cc4.jpg)
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