太阳能触摸屏显示器等领域用AZO靶材的性能特点

AZO靶材是其中一种制造高科技节能玻璃镀膜材料，用于用于物理镀膜中的溅镀，除了AZO靶材，还有金属靶材和陶瓷靶材。陶瓷旋转靶材采用烧结及绑定工艺，可生产较好大长度4000mm，单节较好大长度250mmm，厚度:可根据客户要求定做陶瓷平面靶材采用烧结及绑定工艺可生产较好大长度600mm，较好大宽度400mmm，较好大厚度30mm，圆角、斜边、台阶等异形根据客户要求加工。

相对密度>99%

纯度:>99.99%～99.999%，

应用领域：薄膜太阳能工业、触摸屏工业、显示器工业、光学镀膜工业、低辐射镀膜玻璃工业。

氧化锌掺铝（AZO）薄膜因无害、成本低、Zn 源材料丰富以及在 H 等离子体中性能稳定等优点得到广泛的研究，尤其作为前电较应用在薄膜太阳能电池中 。在AZO薄膜的制备方法中，磁控溅射技术具有成膜致密和成本低等优点，其中以直流和射频磁控溅射研究较好广。

目前大部分国家高等靶材市场主要分布于韩国、宝岛、中国、日本，主要供应商在日本，韩国。中国市场目前年消耗ITO靶材约300吨，而且处于快速增长之中未来靶材产品会广泛应用于计算机硬盘、半导体、TFT平面显示、手机、低辐射玻璃等行业。

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