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1、应用背景半导体芯片行业是金属溅射靶材的主要应用领域之一，也是对靶材的成分、组织和性能要求最高的领域。具体地，半导体芯片的制作过程可分为硅片制造、晶圆制造和芯片封...

近年来，微电子行业和新材料发展迅猛，各种性被广泛应用于高新技术和工业领域，促使了靶材产业日益扩大。如今，靶材已发展成为一个专业化产业。溅射法是制备薄膜材料的主要技术之一...

引言随着大规模集成电路和半导体芯片制造技术的飞速发展，集成电路单位面积上可容纳的晶体管数量成倍增加，芯片制程不断缩小。在电路变得更窄的同时，电流密度将更大，半导体芯片中...

引言随着全球科技的革新突破和人口数量的指数增长,传统陆地资源供给体系已逼近承载阈值。基于资源战略安全与可持续发展的考量，海洋资源开发已成为缓解资源供需矛盾的关键路...

TC4钛合金以其优异的综合性能在航空航天、生物医疗等领域应用广泛[1~3]。然而，其传统加工(如锻造、切削)存在难度大、成本高等问题。而增材制造技术为钛合金的成形提供了新途...

序言钛及钛合金因其低密度、高比强度与比刚度、良好的耐腐蚀性能、优异的低温韧性、抗疲劳与蠕变能力，以及无毒、无磁等一系列综合优势，自20世纪中期起，逐渐成为航空工业中不可...

引言随着全球安全战略的发展，高声速飞行器已成为军事竞争的焦点 [1-2]｡高声速飞行器在未来军事和民用领域具有广阔的应用前景，包括快速全球打击､航天飞机､空间运输系统等｡这些飞行...

引言随着全球安全战略的发展，高声速飞行器已成为军事竞争的焦点 [1-2]｡高声速飞行器在未来军事和民用领域具有广阔的应用前景，包括快速全球打击､航天飞机､空间运输系统等｡这些飞行...

引言2015 年，美国航空航天局 (NASA) 发布了《2015 航空航天技术路线图》, 该文件探讨了美国 2015-2035 年航空航天发展所需的关键技术及实施路径，其中，重点提到发射与推进系统，...

钛合金具有高强度､低密度､耐腐蚀及良好的疲劳性能等综合优异性能，已被广泛应用于航空航天等高端装备｡例如，在美国 F–22 第四代主力战机中，钛合金的质量占比为 41%[1–3]｡Ti–6Al–...

引言第二代高温超导带材为多层薄膜结构，由哈氏合金基带、种子层、隔离层、帽子层(模板层)、超导层和保护层组成。目前已知的较为成熟的制备稀土钡铜氧化物(ReBCO)带材的方法...

钛及钛合金具有低热导率、低膨胀系数、高韧性以及耐低温等优点，在低温发动机、低温超导零部件、海洋工程、 航空发动机等领域均有大量应用[1-2]。TC11钛合金作为一种十分典型...

薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)是当前的主流平面显示技术，而金属溅射靶材是制造TFT-LCD过程中最关键的材料之一。薄膜晶体管阵列的制作原理，是在真空条件下，利用离子束流去轰...

溅射是一种薄膜材料制备技术，主要利用高能离子在真空中加速聚集形成高能离子束流轰击固体，使固体表面原子逸出、沉积在基底表面，制成的膜材料称作溅射靶材[1-2]。溅射技术源于1...

引言磁控溅射靶材(简称溅射靶材)是物理气相沉积(PVD)技术应用中的关键源材料，通过荷能粒子轰击溅射靶材，可使靶材表面原子或分子逸出并在基片表面沉积形成功能性薄膜。高端溅...

引言半导体芯片制造用金属靶材主要用于在基底材料表面沉积金属薄膜。在大规模集成电路互连工艺中，高纯铜材料因其低电阻率、优异的导热性能及良好的抗电迁移和抗应力迁移特性...

引言航空发动机压气机叶片性能直接影响发动机整体可靠性。钛合金凭借比强度高、耐腐蚀性强、热稳定性好等特点成为理想叶片材料。由于发动机向大推重比、长寿命方向发展，对叶...

引言随着现代工业对轻量化、高性能材料需求的持续增长，钛合金因其优异的比强度、耐腐蚀性及高温稳定性，已成为航空航天、能源装备、生物医疗等领域的核心材料之一。其中，TC4(Ti...

引言钛合金具有比强度高、高低温性能好、耐腐蚀、环境相容性好、以及形状记忆和储氢等优良特性[1]，是航空、航天、船舶、核电、医疗等领域极为重视的先进材料[2]。特别是随着...

1、前言钛合金因其高比强度、优异耐蚀性、良好焊接性和抗疲劳性能，广泛用于航空航天、船舶、汽车及化工等领域。其中Ti-6A1-4V(TC4)合金是典型的两相钛合金，由于其组织稳定性...

引言高温机械强度是指材料在高温环境下承受外力作用时，保持其结构完整性和功能稳定性的能力，是保障高温装备长期安全运行的科学基石，目前亦已成为机械强度学的重要分支。作为贯...

粒子加速器是人类探索微观物质结构的重要工具，也是支撑国民经济与科技发展的关键设施[1,2].相较于体型庞大、成本高昂的传统加速器，超短超强激光与物质相互作用能够产生超过10...

引言钛合金材料具有比强度高、耐高温、耐腐蚀等特点，被广泛应用于航空航天、军工及医疗器械等行业[1],但由于钛合金的热导率低、弹性模量小等特点，导致钛合金成为典型难加工材...

引言非对称外双沟形环件是一种外表面带有特殊截面轮廓的异形截面环件，在航空航天、能源、汽车等领域具有广泛应用[1-3]，如运载火箭推进剂贮箱的过渡环、发动机机匣等关键部件...

引言点式锻压激光成型工艺具有成型过程灵活、适用范围广、生产成本低等方面的特点，能够有效克服钛合金在传统成型工艺下普遍存在的柱状晶粗大、力学性能不足等问题。苗广辉等...

1、引言铝合金由于其低密度、易加工的特性，现已被广泛应用于汽车、航空航天等领域进行轻量化设计[1-2]，但由于铝合金的强度相对较低，其作为结构材料在一些极端服役环境下大量使...

1、引言TC11钛合金作为一种新型轻质金属材料,凭借着密度低、比强度高、耐蚀性出色、热稳定性卓越以及疲劳强度高等一系列突出优势，在航空航天、轨道交通、船舶工业乃至医疗等...

作为一种α+β相耐热钛合金，钛合金TC11具有高强度、超强耐腐蚀性、优异的抗蠕变性和较好的热稳定性，被广泛应用于航空发动机涡轮盘、叶片等重要构件。在钛合金切削过程中切削...

近年来，随着科学技术不断发展和进步，钛及钛合金棒丝材在航天航空､军工､医疗等重要领域得到广泛应用，产品要求各项性能指标满足标准相关要求的同时，大单重盘卷丝材作为在高端领域的...

引 言 钛合金因其轻质、无磁性、高屈强比、耐腐蚀等特点[1]，在航空、航天、船舶、医学等领域得到广泛的应用[2,3]。然而，由于其变形抗力大、易回弹，在室温下难以成形，一度限制了...