对于需要制备不同尺寸的靶材所采用的制备方法也不一样，比如制备小尺寸的靶材，常用的是粉末热等静压法以及粉末压制烧结法。那么对于大尺寸的靶材制备各种表面强化和表面防护涂层，比较好的一种制备技术就是热喷涂技术，此技术可提高靶材的利用率。但这种技术如今也存有一些缺点，凯泽金属结合相关资料，将其整理如下：
一、热喷涂技术制备靶材的原理
热喷涂技术制备靶材的原理是用气体、液体燃料或用电弧、等离子弧作热源，将金属、合金、陶瓷、金属陶瓷、氧化物、碳化物、硼化物、氮化物、硅化物、塑料等粉末或丝材、棒材加热到熔化或半熔化状态，借助于火焰推力或另用压缩空气喷洒于预处理过的工件表面上，形成喷涂层的一种表面处理方法。
二、热喷涂技术制备靶材优缺点
1、热喷涂技术制备靶材优点
（1）喷涂材料范围非常广泛，几乎包括所有的固体材料，除了火焰中能挥发的物质外；
（2）等离子喷涂的焰流温度高，热量集中，几乎能融化所有高熔点的粉末材料，可以根据工件表面性能要求制备出各种性能的涂层；
（3）所选择的合适工艺，几乎能在任何固体材料表面上进行喷涂。
（4）喷涂层平整光滑，厚度准确可控，直接进行精加工即可获得产品，是一种近净成形制备方法，节省材料，特别适合贵重金属涂层及靶材的制备；
（5）一般不受施工现场限制，也不受工件尺寸的限制；
（6）涂层的厚度可以控制，从几十微米到几个毫米；工件受热程度可以控制；
（7）等离子喷涂通过采用真空密闭，通入还原性气体、惰性气体保护等方法，可获得氧含量低、杂质少的涂层；
（8）采用高能等离子喷涂设备，粉末沉积率高，沉积速度快，可获得较厚的涂层，这是制备溅射靶材的重要保证。
（9）等离子焰流喷射速度高，能使粉末获得较大的动能和较高的温度，涂层与基体结合强度高；
（10）可使材料具有耐磨、耐蚀、耐氧化、耐高温、隔热、导电、绝缘、密封、减磨、防辐射等不同功能,使低级材料可代替材料使用;
（11）不仅能进行材料表面防护和强化工作,而且还能修补废旧件,且修复速度快,修复件性能高；
（12）涂层沉积效率较高，特别适合沉积薄膜涂层。涂层厚度可以控制，从几十微米到几毫米甚至可厚达20mm；
（13）除喷焊外，热喷涂施工对基体的热影响很小，基体受热温度不超过200℃，基体不会发生变形和性能变化；
2、热喷涂技术制备靶材缺点
（1）热喷涂层结合强度不太高，会存在孔隙问题及工件变形问题。
（2）热喷涂在制备靶材方面也是有一点需要改善的，那就是涂层组织的多孔性。容易吸附杂质、湿气，使得溅射过程中高真空的迅速获得及真空度的稳定受到影响，并且导致在溅射过程中，靶材溅射表面瞬间高温使松散颗粒团状掉落，污染基片表面，影响镀膜质量和镀膜产品的合格率。
（3）除喷焊外，热喷涂涂层与基体的结合主要是物理机械结合，结合强度不大高，涂层耐冲击和重载性能较差；
（4）喷涂涂层含有不同程度的孔隙，对于耐腐蚀、抗氧化、绝缘等应用，一般不如整体材料。但可通过复合涂层系统设计等方法予以改进提高；
（5）喷涂小件时，涂层材料的收得率低；
（6）热喷涂手工操作时的劳动条件较差，有噪音、粉尘、热和弧光辐射问题，必须注意劳动保护措施。
以上就是关于热喷涂技术制备靶材优缺点的介绍，可以看出采用热喷涂技术制备靶材，优点还是有很多，比如喷涂材料范围非常广泛，喷涂层平整光滑，厚度准确可控等，但其中也不乏存在一切缺点，如热喷涂层结合强度不太高等。凯泽金属专注生产各种溅射靶材，铬靶、镍靶、锆靶、铝靶材等的深加工，产品纯度高，还可进行有关使用方面的技术指导，如果您有需要，欢迎联系凯泽金属详询。
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